일반사항

• SEMI는 인증이 아니며, 시험성적서 요건이라고 볼 수 있는데, 이는 SEMI가 협회로서 별도의 인증이라는 절차를 규정하지 않기 때문임. SEMI는 반도체 관련 제품들이 갖추어야 할 규격 제정 및 발행만을 담당하고 있음.
• SEMI는 반도체와 평판 디스플레이 장비 및 재료에 대한 규격으로 SEMI가 수요자, 공급자 및 관련업체 전문인들의 추천과 요구를 수렴하여 집대성한 협회 규격서로 케미컬, 장비자동화(하드웨어, 소프트웨어), 재료, 가스, 마이크로 패턴, 설비 및 안전, 패키징, 평판 디스플레이 등 관련하여 열 개의 분야로 구분되어 있으며, 세계반도체와 평판 디스플레이 장비 및 재료에 대한 가장 포괄적인 국제 표준 규격임.
• 반도체 제조설비에 대한 환경, 보건, 안전요구사항 규격으로 특정한 지역의 강제규격이 아닌 반도체 제조회사에서 요구하는 비강제 규격이므로 업체가 자율적으로 선택하거나 수입업자의 요청이 있을 경우, SEMI를 진행하는 시험/인증기관에 신청하여 획득함.
• SEMI (세계 반도체 장비, 재료 협회) 는 반도체 제조 및 후 처리 공정에 사용되는 기계들에 대한 규격을 제정하는 기관으로, 강남 삼성동 무역센터 내에 한국지사(SEMI Korea)가 있음.
• 자율제도이나, SEMI 성적서는 제품의 시장인지도와 신뢰도를 높이는데 도움을 주고 있으며, 성적서 뿐 아니라 다국적 인증기관 (TUV, UL, ETL 등)에서는 SEMI Standards Compliance Report라는 서비스를 자율적으로 시행하고 있으며, 이것이 일반적으로 인증이라고 받아들여짐.
  
  ※ SEMI Equipment Safety Guidelines
  • S1 Equipment Safety Labels
  • S2 Safety Guidelines for Semiconductor Manufacturing Equipment
  • S3 Heated Chemical Baths
  • S4 Segregation/Separation of Gas Cylinders Contained in Cabinets
  • S5 Flow-Limiting Devices
  • S6 Ventilation
  • S8 Ergonomics Engineering
  • S9 Electrical Design Verification Tests
  • S10 Risk Assessment
  • S11 Equipments Mini-environments
  • S12 Equipment Decontamination
  • S13 Operation and Maintenance Manuals
  • S14 Fire Risk Assessment and Mitigation
  • S15 Toxic and Flammable Gas Detection Systems
  • S16 Equipment Disposal
  • S17 Unmanned Transport Vehicles (UTV) Systems
  • S18 Silence Family Gases Handling
  • S19 Training of Semiconductor Manufacturing Equipment Installation, Maintenance and Service Personnel
  • S20 Identification and Documentation of Energy Isolation Devices for Hazardous Energy Control
  • S22 Electrical Design
  
  
  * 많은 규격들 중에서 가장 많이 쟁점화되는 규격은 'SEMI S2 와 S8'임. 'SEMI S2'는 포괄적 규격으로, 모든 유형의 반도체 생산 장비에 필요한 최소한의 환경, 건강과 안전요건을 정의하고 있고, SEMI S8'은 인체 공학적 설계 요건을 다루고 있음.

특이사항

대상품목

제출서류

• 사용자 매뉴얼
• 위험경고라벨 리스트 및 위치도
• 안전 인터록 상세정보 (목록, 개요도, 회로도 등)
• 비상차단 상세정보(부착위치, 스위치/가드/표시사항 도면, 회로도 등)
• 전기적 설계 상세자료(회로도, 도면, 부품배치도, 부품리스트, 부품인증서, 부품사양서, 전장박스/판넬/캐비닛 외형도, 배치도 등)
• 화재방지관련 자료(위험분석자료, 가연성재료의 난연성성적서 또는 사양서/인증서/매뉴얼 사본 등)
• Heated Chemical Baths(SEMI S3을 위한 자료, 가열화학조에 적용된 과열/과전류/과부하/overflow/누설전류/감전 보호 및 접지방식에 관한 도면 및 회로도)
• 인체공학: SEMI S8평가를 위한 자료
• 전기에너지 및 공압, 유독성/화재성 화학물질의 Lock-out/Tag-out 절차서
• 기계적 설계정보(구조설계 및 조립도면, 압축공기/가스 Flow 도안 등)
• 지진보호 관련 상세자료 (도면, 치수, 지진설계 계산식 등)
• 자동화운반기 EN775 위험분석자료, 미국/유럽규격인증서 또는 성적서/설명서 등
• 위험폐기물, 대기오염 감소방안 문서, 폐기처리 절차서
• 배기배출(배기 파라미터 문서화, 배기환풍을 위한 도면 및 치수, 배기설계 계산식)
• 화학물질 Material Safety Data Sheets (MSDS), 위험분석, 위험 처리방안, 개인용보호구 사용설명서, 위험가스 사용 및 검출방법, 위험경고라벨 작성
• 이온화방사선(방사선물질, 각국 허가사항, 관리방법, 측정치의 문서화, 측정방법 등의 설명)
• 비이온화방사선(발생원과 주파수/파장/강도 등의 파라미터, 경고표시, 표준운전절차, 라벨링, 평가표, 계산식, 측정법 등의 설명)
• 레이저(발생원의 위치, 펄스, 경고표시, 라벨링 등 설명)
• 음압레벨(경고라벨, 운전절차, 음압레벨과 위치설명 등)

표시사항